痕量級多組分氣體分析儀概述

痕量級雜質氣體比如烴類、H2O、CO、CO2、NOx、N2、H2S等會對高純氦、高純氫、高純氮、其他高純氣體的生產帶來危害，長期存在會損壞生產設備和影響生產質量，甚至對使用高純氣體的裝備帶來致命威脅。杜克泰克公司的DKF10型痕量級多組分氣體分析儀專門專業監測并分析ppm微量級、ppb超微量級雜質氣體。

痕量級多組分氣體分析儀原理

DKF10多氣體分析儀基于紅外光聲光譜技術，擁有脈沖紅外光源，通過窄帶光學濾波片，形成中紅外區10個光譜波段，用于氣體分析；超高靈敏度基于zhuan利的擁有增強懸臂梁光學麥克風技術，可通過10種光學窄帶濾波片實現，極窄的光學濾波可去除背景氣體的干擾；多個光譜區域可有利于最小的交叉靈敏度。對采樣響應結果按照改進的經典最小二乘法進行數據校準。

光聲光譜技術可實現短光路光程的高靈敏度測量，更進一步提高了非線性補償技術，可實現寬量程可達5級的線性動態量程比。

痕量級多組分氣體分析儀氣體：

1. 烴類：CH4、C2H6、C2H2、C2H4等

2. 無機氣體：CO2、CO、N2O、SO2、NO、NO2,NH3、NF3、SF6、H2O等

3. 揮發性有機物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、甲苯、二甲苯、甲醛等

4. 氟利昂（CFCs）及全氟化碳（PFCs）:CF4、C2F6、R-134a、R13等

5. 腐蝕性氣體：HF、HCL、HCN等

6. 麻醉劑：異fu烷、七fu烷、地fu烷、安氟醚等；

7. 其他氣體：N2、H2、O2、氯氣等（可選、擴展探頭）；

8. 被測氣體可定制；

痕量級多組分氣體分析儀應用

特性

優點：

1. 帶有增強懸臂梁光學麥克風的紅外光聲光譜技術

2. 電子脈沖紅外光源

3. 鍍金采樣氣室恒定溫度50℃

4. zhuan利超靈敏的基于MEMS懸臂梁傳感器光學麥克風，耦合激光干涉測量懸臂梁微觀移動

5. 19"3U工業機箱，適用于全部臺式或機架固定安裝

6. 內置帶有5.7"前置顯示器的嵌入式計算機可設置氣體報警閾值

7. 數據存儲約2GB，連續存儲9種氣體可達1年

8. 測量結果可以通過U盤，USB口，Ethernet網口，串口導出

9. 后面板有四路氣體連接口，兩路為采樣接口，配有粉塵顆粒物過濾器

10. 自動補償溫度、壓力等變化工況的干擾

11. 自動去除包括水汽、顆粒物等采樣氣體的干擾

技術參數：

12. 響應時間：據通道積分時間(C.I.T.)和氣體置換周期，典型30s到幾分鐘；

13. 檢測限：根據氣體，典型sub-ppm，可定制；

14. 重復性：1%測量結果，在標定條件下

15. 準確度：典型2～5%

16. 動態量程：典型5級，（100,000倍檢測限）

17. 零點漂移：±1檢測限/年

18. 量程漂移：3%測量值/年

19. 工作條件：

20. 溫度范圍：0℃～+45℃濕度范圍：低于90%RH,無凝露

21. 壓力范圍：大氣壓

22. 防護等級：IP20(IEC 529)

23. 振動試驗：33 Hz強振

24. 儲存條件：

25. 溫度范圍：-20℃～+60℃

26. 采樣條件：

27. 溫度范圍：0～+49℃無凝露

28. 壓力范圍：930 mbar～1100 mbar

29. 濕度范圍：露點+8℃或更高

30. 氣體流量：約1L/m

31. 顆粒物：<1μm

32. 總采氣量：<30mL，可配抽氣泵（負壓100hPa）最遠距離100米；

33. 氣體接口：帶有快速插頭的6/4mm管，可定制；

34. 尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D

35. 重量：約13 kg

36. 電氣接口

37. 工作電源：100～240VAC,50～60 Hz

38. 輸入功率：100W

39. 通訊接口：Ethernet、USB、RS232、RS485

標準：

低壓測量指令2006/95/EC和電磁兼容EMC指令2004/108/EC EN 50270:2006,EN 61000-3-2:2006,EN 61000-3-3:1995+A1:2001+A2:2005,EN

61010-1:2001

安全標準：EN61010-1(2001),IEC 61010-1(2001),CAN/CSA-C22.2 No.61010-1(2004)和UL 61010-1(2004 incl.rev.2005)